Lasersko čišćenje za industriju poluprovodnika

Kako se poluvodička tehnologija i dalje smanjuje, napredni uređaji sa integriranim krugom transformirali su se iz ravnih u trodimenzionalne strukture. Proces proizvodnje integrisanih kola postaje sve složeniji, često zahtevajući stotine ili čak hiljade koraka procesa. Za naprednu proizvodnju poluvodičkih uređaja, nakon svakog procesa, na površini silikonske pločice će biti više ili manje čestica zagađivača, metalnih ostataka ili organskih ostataka. Kontinuirano smanjenje veličine karakteristika uređaja i sve veća složenost trodimenzionalnih struktura uređaja učinili su da poluvodiči uređaji postaju sve osjetljiviji na kontaminaciju česticama, koncentraciju i količinu nečistoća.

Za tehnologiju čišćenja kontaminiranih čestica na površini maske silikonskih pločica postavljeni su viši zahtjevi. Ključna stvar je prevladati ogromnu silu adsorpcije između kontaminiranih čestica i podloge. Trenutno mnogi proizvođači poluvodiča koriste metode čišćenja kiselinama. Pranje i ručno brisanje ne samo da su neefikasni već proizvode i sekundarno zagađenje. Dakle, koji je način čišćenja trenutno prikladniji za čišćenje poluvodičkih proizvoda? Lasersko čišćenje je trenutno prikladnija metoda. Kada laser skenira, sva prljavština na površini materijala će biti uklonjena, a prljavština u prazninama će biti uklonjena. Može se lako ukloniti, neće ogrebati površinu materijala i neće uzrokovati sekundarno zagađenje. To je siguran izbor.

Osim toga, kako se veličina uređaja integriranog kola nastavlja smanjivati, gubitak materijala i hrapavost površine tokom procesa čišćenja postali su problemi na koje se mora obratiti pažnja. Uklanjanje čestica bez gubitka materijala i oštećenja uzorka je najosnovniji zahtjev. Tehnologija laserskog čišćenja ima jedinstven kontakt, nema termičkog efekta, nema površinskih oštećenja na objektu koji se čisti i nema sekundarnog zagađenja, što su neuporedive prednosti tradicionalnih metoda čišćenja. To je najbolja metoda čišćenja za rješavanje zagađenja poluvodičkih uređaja.